薄膜参数测量方法

        薄膜厚度:透射法
            透射法:反射法
            线吸收系数：掠入射法,大角入射法
            晶格常数&晶体学取向：
            不对称Bragg散射法,透射衍射法
            光学参数：线偏振法,光程补偿法

X射线透射法-原理

X射线透射法-结果 

强度测量误差

角度测量误差

长度测量误差

X射线透射法-精度

X射线透射法-修正
       反射光，衍射光和透射反射光的修正
       射线源非单色性的修正
       膜材-膜线吸收系数差异的修正

三光修正

非单色修正

 

吸收系数差异修正
        用蒸发法镀膜，膜和膜材密度相差一般不超过1%
        用Bragg反射的结果也说明膜和膜材的晶格常数基本一致

X射线透射法-总结
       直接测量：吸收系数-膜厚积
       精度：1%-3%
       修正：*反射射线的影响
             *射线单色性
             *膜材-膜吸收系数差异
       优点：精度高
       缺点：*修正麻烦
             *测量时间长

X射线反射法-原理

 

X射线反射法-原理

 

掠入射法-原理

掠入射法-结果

大角入射法-原理

大角入射法-结果

不对称Bragg散射法-原理

不对称Bragg散射法-结果

透射衍射法-原理

透射衍射法-结果

线偏振法-原理

光程补偿法-原理

感谢

    感谢401和405的孙老师和陶老师为我使用X射线仪和其它光学仪器提供的方便和帮助。
        感谢张增明老师的关于薄膜和X射线的重要知识和指导。
        感谢145的浦老师为我镀膜提供的帮助。
        感谢物理楼的师兄用其它方法帮我进行了膜厚测量，使我有结果可以对照。
        感谢在座的老师和同学花费休息时间来听报告。