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图 2 : DM-300镀膜机
本仪器主要由真空系统、镀膜室（钟罩）、提升机构、电器控制组成。 可用蒸发法镀制光学元件的各种透射膜、反射膜及各种滤光膜，电学膜或装饰性薄膜。
图 3 : 旋片式机械泵
旋片式机械泵是一种气压传输泵，它用油来保持密封并依靠机械方法不断地改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。它是一种低真空泵，常被作为粗抽泵和前级泵。其性能参数主要有极限压强和抽气速率。
图 4 : 蒸发源
电阻加热装置，通以电流，使蒸镀材料从固相变为液相，再由液相变为气相，再由气相淀积在衬底上形成薄膜。
图 5 : 扩散泵
是一种气压传输泵，利用高速喷射的油蒸气和气体分子碰撞，由于射流具有高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300-500)，故能有效地带走气体分子。工作过程为油蒸发-喷射-凝结，重复循环。扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。
图 6 : 储气罐
储气罐为置于机械泵、扩散泵之间的真空容器，为防止油蒸气反扩散以及暂停时机械泵时储存扩散泵抽出的气体。
图 7 : 干涉显微镜
干涉仪和显微镜的组合，将被测件和标准光学镜面相比较，用光波波长作为尺子来衡量工件表面的不平深度，用显微物镜进行高倍放大后再行观察和测量。
图 8 : CCD图样接收器
图 9 : 干涉显微镜的显微目镜取下，换上CCD, 把干涉条纹转换到计算机的显示屏上，便于观察和测量。
图 10 : 计算机及软件
薄膜样品台阶处的干涉条纹，由于薄膜样品的两个表面有光程差，干涉条纹发生了弯曲，通过测量条纹的偏移和条纹间距，即可计算出台阶高度（薄膜厚度）。
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