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薄膜制备技术及性能测试
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设计性内容
n 1.自行设计方案,用真空镀膜或溅射镀膜方法制备掺Sn的In2O3薄膜(ITO),并测试样品的光学、电学性质。
n 2. 以掺Al的ZnO薄膜为样板,参考有关文献,自拟薄膜制备方案,实现ZnO薄膜制备,掌握半导体透明导电薄膜的制备技术。通过对薄膜样品的电学、光学等特性的测量,总结ZnO薄膜的特点及其应用的意义。
<完>
中国科学技术大学 2003 by USTC