物理实验课程 〉〉 真空镀膜

真空镀膜

仪器介绍 | 习题 | 真空镀膜 | 问题交流

设计性内容

(1)溅射法制备透视电子显微镜样品

       1)按仪器说明书要求安装靶材,如无现成靶材,可制备—圆形铝片靶材并安装到位。

       2)解理一氧化钠晶体,将平整的新鲜新解理面作为基片放置到靶材对面。然后安置好镀膜室,并抽真空。可根据需要,抽成高真空后通入氩气,然后接通溅射高压;或在低真空条件下溅射。根据对膜的工艺要求,选择合适的电压、真空度、靶材到片基的距离以及溅射的时间等。具体见仪器说明书。

       3)用镊子取出已经镀膜的氧化钠晶片,膜面朝上轻轻放在蒸馏水水面上,氧化钠迅速溶解,而膜漂浮在水面,用透射电子显微镜专用的样品铜网捞起,凉干后待用。

(2)应用椭圆偏振法的测量原理,研究

       1)在有关仪器上测量样品的物理性能。

       2)同一种膜在不同镀膜条件下的待测物理量之间的变化规律;

       3)同一镀膜条件下不同膜系之间的变化规律等。

 

<完>

中国科学技术大学 2003 by USTC

首页 网站地图 使用说明 更新日志 联系我们