◆ 真空镀膜简介
   真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为最具发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。这种新兴的真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用，如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、环保、军事等领域。薄膜科学涉及到材料，物理，化学及电子工程等多学科领域。研究原子尺度的薄膜制备，结构，组分和性能的表征以及多层膜形成中的互扩散，界面反应，内应力和电迁移等稳定性问题已成为材料科学的基本点。它要求对表面科学和体单晶材料要有充分的了解，在考虑到各种薄膜材料的固有特性的同时，根据器件的特殊要求完成薄膜材料的设计和制备工艺的精确控制。这些薄膜的性质取决于薄膜的结构，化学比，杂质以及制备的工艺参数等。
   真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导 磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源的作用。
   本实验的目的是了解真空蒸发镀膜的基本原理，掌握真空蒸发从镀材、基底、蒸发源的制作，蒸发镀膜到薄膜性能测量整个过程。

◆ 真空蒸发镀膜技术重点
   1 很好掌握真空蒸发镀膜的制备理论与工艺。
   2 影响膜厚与膜的结晶状态的因素。
   3 膜的质量好坏取决于那些因素。
   4 用干涉显微镜测量薄膜厚度的理论与操作。

◆ 真空蒸发镀膜技术难点
   1 膜厚的控制
   2 膜厚的测量

◆ 高真空的获得和检漏
   高真空的获得一般采用机械泵、扩散泵真空机组。扩散泵是主泵，是在高真空范围内（10-1_10-5Pa）工作的真空泵，系统的最高真空度由它来获得；机械泵是预抽泵，它可以从大气开始抽气且工作在低真空范围内的真空泵，它的作用是使扩散泵的前级压力维持在许可压力以下。
   在高真空范围内的应用主要有：真空冶炼，真空热处理，真空电子束焊，真空镀膜，电真空器件，粒子加速器，太阳能设备等。
   一个高真空系统或容器经过长时间抽气而达不到预期效果，如果真空机组工作正常，我们可以判断此真空系统或容器存在蒸气源、表面放气以及真漏。在这种情况下我们必须进行检漏，检漏的方法主要有加压检漏和真空检漏。我们首选静态升压法，此方法是将被检容器抽至极限真空，再将被检容器封闭，此时测量真空度随时间的变化关系曲线（p­-t关系曲线），根据曲线的形状即可判断此真空容器是否漏气。此方法只能判断是否漏气，要确定在哪一点漏气，还必须再选用其他适宜的方法。

实验内容
   1． 用机械泵、扩散泵真空机组将钟罩抽到极限真空。同时用FZh-2B型复合真空计测量真空度。（具体操作参见实验室给出的实验操作步骤）
   2． 为进一步提高真空度，在实验过程中可对钟罩进行一次烘烤，以便使吸附在钟罩内壁的气体分子尽快脱附。对电离规管进行除气，电离规管有吸气作用，其玻璃壳内表面及各电极会吸附气体，电离规管的阴极灯丝和加速极可分别通电加热，

实验重点
   1． 实验用DM­-300镀膜机完成，一定要搞清楚镀膜机的真空系统，而我们要检漏的部位是镀膜室（钟罩）。
   2． 在抽真空的过程中，为了进一步提高真空度，我们还要进行烘烤和除气。烘烤就是利用热源把镀膜室内表面吸附的气体加热，使其迅速脱附，真空机组将其抽走。除气是利用电离规管中的一组热丝（阴极灯丝或加速极）对管内金属电极表面吸附的气体加热，使其迅速脱附，真空机组将其抽走。
   3． 测量p­-t关系曲线时，开始5秒测一次p值，当p升高一个量级后，时间间隔可延长到10秒。测量p值最大不能超过5 Pa 。

曲线a是理想情况，表明系统或容器既不漏气也不存在表面放气；曲线b表明系统或容器只存在表面放气；曲线c表明系统或容器只有漏气；曲线d表明系统或容器既有漏气也存在表面放气。实际测量中曲线d的形状居多。

实验难点
   1. 真空实验一定要按照正确的步骤操作，不能有一点差错，在按照正确的步骤操作时，一定要想明白这一步为什么这样做而不能和上一步或下一步交换？
   2. DM­-300镀膜机的真空系统。
   3. 测量p­-t关系曲线时，开始2、3个数据很重要，一定要测量准确。
   4. 测量的p值有三个量级，作图要用半对数坐标纸，用方格坐标纸会丢失测量值的有效数字。

需要注意的是：
   使用电离计时，规管中钨丝阴极温度很高，在压强高于10-1帕时，规管寿命将大大降低，甚至烧毁。因此，电离计不能过早打开，一定要等到热偶计表头满量程后再打开电离计。若系统突然漏气使真空度骤降，应立即关掉电离计。